半導体完成 マーキング 製品検査・信頼性検査 バーンイン(温度電圧試験) トリム&フォーム モールド ワイヤーボンディング チップのマウンティング ウェハのダイシング
次は後工程に入ります。


後工程とは、前工程が完了した後の工程を総称したものです。
シリコンウェハ上に製造したICチップを一個一個切り刻んで、最終製品(半導体デバイス)まで仕上げます。
ウェハ上のICチップをチップごとに切断して、仕上がりをチェックします。


切断には、ダイヤモンド・ブレードとよばれるのこぎりを使用します。
ダイシングが完了した良品チップを、リードフレームなどの回路基板に一個一個導電性接着剤(電気抵抗が小さい接着剤)で貼り付けます。
ICチップと外部との電気信号のやり取りを行うため、チップの表面外周部に配置されたボンディングパッドと、リードフレーム側のリード電極を金・アルミなどの細線で一つずつ接続します。
ICチップの傷や衝撃を抑えるために、セラミック・モールド樹脂(封止材)でパッケージして保護します。
金型でリードフレームから個々の半導体デバイスを切断・分離して、外部リードを所定の形状に成型します。
初期不良を取り除くために、機能テストを行いながら温度・電圧ストレスの加速試験を行います。


バーンイン・ボードという場所にパッケージをセットして、テストします。
電気的特性検査・外観構造検査などを行い、不良品を取り除きます。


また、環境試験・長期寿命試験などの信頼性試験を行います。
半導体デバイスの表面に、レーザーで品名を印字します。
やっと完成しました!


シリコン・ウェハが前工程工場に投入されて、半導体デバイスが完成するまでに、約45日間を要します。