
- ㈜에프오아이 그룹은 차세대 반도체 제조장비를 연구∙개발하여 반도체 제조기술을 향상 시키고자 하는 엔지니어들에 의해 추진되고 있는 하이테크 벤처기업입니다.
반도체 기술은 20세기에 탄생한 역사가 짧은 기술입니다만, 획기적인 진보에 의해
컴퓨터∙ 휴대전화 등의 실현을 가능하게 하여 현재
그리고 미래의 인류를 지지하는데 없어서는 안될 존재가 되었습니다.
저희들은 그 반도체를 제조하는 장비를 만들고 있습니다. 최첨단의 장비를 철저한 비용 절감으로 경쟁력 있는 가격으로 제공하여 전세계 사람들이 살 수 있는 컴퓨터∙ 휴대전화 등 전자기기의 실현에 기여하는 것이 저희들의 바램입니다.
반도체 기술은 끊임없이 발전하고 있고 300mm、45nm의 시대가 도래 했습니다. 더욱이 그 이상의 32nm이하의 미묘한 세계도 이미 일부 첨단기업에서 사업화하기 시작했습니다. 이러한 시대에 발 맞추어 저희들은 독자적으로 플라즈마원을 개발하여 플라즈마 기술을 응용한 장비를 개발하고 있습니다.
당사는 이미 300mm및 6/8inch 실리콘 웨이퍼용의 산화막/Low-k막 Etching 장비, Light Etching장비, Ashing 장비, 표면 산화막 장비 등을 상품화 하여 판매하고 있습니다.

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- 사업의 전개를 통해 하이테크 산업을 활성화하여 일본 사회 발전에 공헌한다.
- 주식가치의 증대를 목표로 하여, 주주를 비롯한 이해 관계사에 대한 책임을 다한다.
- 고용을 확대하여 종업원의 안정된 생활과 일에 대한 성취감이 있는 직장을 실현한다.
- 항상 최첨단기술을 유지하여 고객만족에 기여하는 토탈 솔루션을 제공한다.
- 장기간에 걸쳐 안정된 고객 서비스를 지속한다.

- 회사명
- 주식회사 에프오아이
- 영문명
- FOI Corporation
- 본사소새지
- 〒252-0205
카나가와현 사가미하라시 중앙구 오야마 1-1-10
- 전화번호
- 042-700-3660 (TEL)
042-700-3020 (FAX)
- 설립
- 1994년 10월 17일
- 자본금
- 94억8,592만 4,600엔(2009년 11월 20일 현재)
- 사업내용
- 반도체 제조장비의 요소개발, 제품개발, 제조, 판매 및 필드 서비스
- 대표이사
- 오쿠무라 유타카
우에하타 마사카즈
- 임직원 수
- 약 207명(해외자회사 포함 2009년 12월 말 현재)
- 거래은행
- 요코하마은행 신유리가오카 지점
일본정책투자은행 본점
리소나은행 시부야지점
미쯔비시 도쿄 UFJ은행 마치다지점
미즈호은행 신주쿠니시구찌 지점
야치요은행 사가미하라 지점
스미토모신탁은행 도쿄영업부 외
- URL
- http://www.foi.co.jp/

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- Groovy ICP 플라즈마 소스
- Balanced ICP 플라즈마 소스
- 300mm 플라즈마 폼
- 6/8인치 플라즈마 폼
- Cluster Tool 제어 시스템