• アッシング装置
  • Rydeen5200は、FOIの最新技術を利用した6インチ/8インチウエハ対応のアッシング装置です。
    世界最速の搬送スループット（毎時210ウエハ以上）を誇り、高密度ICPプラズマ源との組み合わせで、FOI標準フォトレジスト付きのウエハの場合、毎時200ウエハ以上のアッシングが可能です。
    高ドーズイオン注入フォトレジストのアッシングでも、高いスループットが得られます。FA(GEM)にも、完全に対応しております。


    Rydeen7000は、FOIの最新技術を利用した300mmウエハ対応のアッシング装置です。
    世界最小、最速のFOIオリジナル搬送系を使用することにより、300mm装置としては驚異的な搬送スループット（毎時210ウエハ以上）を誇り、高密度ICPプラズマ源との組み合わせで、FOI標準フォトレジスト付きのウエハの場合、毎時200ウエハ以上のアッシングが可能です。
    高ドーズイオン注入フォトレジストのアッシングでも、高いスループットが得られます。
    FA(GEM、GEM300)にも、完全に対応しております。