• エッチング装置
  • STELLAは、FOIの特許技術であるGroovyICPを利用した300mm/8インチウエハ対応の高性能エッチング装置です。
    GroovyICPは、世界で唯一のナローギャップタイプICPプラズマ源であり、従来のCCPプラズマ源およびICPプラズマ源の長所を兼ね備える、画期的なプラズマ源です。

    STELLAは、このGroovyICPプラズマ源を利用することにより、HARC、Spacer、PAD、などの各種形状およびHigh-k、Low-k膜などの各種材料のエッチングに対応することが出来ます。
    プロセスウインドウが広く、広範囲の条件設定が出来るため、エッチングレートは2ミクロン/分から1オングストローム/秒（60オングストローム/分）までカバー出来る画期的な性能を有しております。
    FA(GEM、GEM300)に、完全に対応しております。