• 光刻胶剥离设备
  • Rydeen5200，是利用了FOI最新技术、面向6英寸/8英寸的光刻胶剥离设备。Rydeen5200拥有值得骄傲的世界最快搬送能力(210片/小时以上)，同高密度ICP等离子体源结合起来，在使用FOI标准光刻胶的情况下，可以达到每小时处理200片以上的能力。即使是高能离子注入的光刻胶剥离，也具有较高的搬送能力。也可完全满足FA(GEM、GEM300)要求。


    Rydeen7000，是利用了FOI最新技术、面向300mm的光刻胶剥离设备。Rydeen7000使用世界最小、最快的FOI原创搬送系统，作为300mm设备，令人惊奇的达到了骄人的搬送能力(210片/小时以上)，同高密度ICP等离子体源结合起来，在使用FOI标准光刻胶的情况下，可以达到每小时处理200片以上的能力。即使是高能离子注入的光刻胶剥离，也具有较高的搬送能力。也可完全满足FA(GEM、GEM300)要求。