- 奥村裕 代表董事社長
奥村裕是、㈱ FOI的創業者。創業以來便一直擔任社長一職領導著公司。於１９５０年出身於北海道，並於１９７３年畢業於北海道大學工學部。由於專攻的是電氣工學，因此對於電磁場的解析等等非常擅長。曾任職於ＮＥＣ㈱、Tokyo Electron㈱等公司、於１９９４年創業於本公司。
充份的利用了於ＮＥＣ㈱學習到的半導体技術及Tokyo Electron㈱學習到的等離子體製程知識、創業以來便擔任本公司的技術領導、指揮著我們開發次世代型的等離子體蝕刻機台。一方面用心的經營著公司另一方面對於下個領導本公司的後進也投入了許多的心力。
- 上畠正和 代表董事専務
上畠正和於2001年3月起就任於董事。1964年出生於石川縣，畢業於1988年明治大學法學部。大學畢業後進入野村證券㈱公司，主要從事的是証券營業事務。於2000年進入SBI investment㈱，從事venture投資業務後進入本公司。在本公司除了擔任代表董事之外的同事也擔任最高財務責任者兼管理部門統括的工作，
為公司實現資本政策竭盡了全力。
- 河野六甲 董事
河野六甲是於2003年9月進入公司。
出生於1962年大阪府，畢業於1988年大阪大學工學部。大學畢業後便進入Tokyo Electron㈱、主要從事的是Field業務。在那之後，就職於Novellus Japan㈱、Semitool Japan㈱等的營業工作後進入本公司。
在本公司除了擔任董事一職外，同時也擔任營業部門統括的工作。推進著本公司的營業營銷活動。
- Georgy Vinogradov 董事
Georgy Vinogradov是於、2002年5月進入本公司。
出生於1949年出生地為俄羅斯，畢業於列寧格勒工科大學物理學部。在蘇維埃科学學會Plasma Chemistry中央研究所等地方從事等離子體的研究於1988年取得蘇維埃連邦的“Senior Scientific Fellow”稱號。
於1992年被招聘為名古屋大學客員教授，在那之後就職於MC electronics㈱後進入本公司。在本公司除了擔任董事之外，同時也擔任研究開發部門統括的工作，推進著本公司研究開發最先進開發活動。
- Michael Ricks 董事
Michael Ricks於2003年6月起擔任董事一職。
出生於1961年出生地為美國，畢業於加利福尼亞大學。取得芝加哥大學MBA後、在early stage及大企業的IT從事telecommunication業務。在那之後、就職於Ericsson中國、imGO（瑞典InvestorAB子会社）的CEO，於2002年就任Investor Growth Capital Asia的CEO。
本公司除了擔任社外董事一職外對於本公司電子學産業全般及東亞洲的業務方面進行著指導。
